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高效過濾器檢漏測試操作程序

1.0目的

通過檢測高效過濾器的泄漏量，發現高效過濾器及其安裝的缺陷，如濾材中的小針孔，連接密封部位的縫隙等，以便及時采取補救措施。

2.0范圍

適用于公司潔凈室（區）的高效過濾器泄露的檢查。

3.0職責

品管部檢驗員負責測試。

4.0程序

4.1測試方法：塵埃粒子計數掃描巡檢法。

4.2測試位置：對于10000級至300000級潔凈度要求的潔凈室。包括：層流工作臺、層流罩，以及設備上的高效過濾器。必須在現場對以下部位進行掃描巡查。

4.2.1過濾器的濾材。

4.2.2濾材與其框架內部的連接。

4.2.3過濾器框架的密封墊和過濾器組支撐框架之間的連接。

4.2.4支撐框架和墻壁或頂棚之間的連接。

4.3檢測儀器

塵埃粒子計數器。

4.4檢測程序：

4.4.1被檢漏過濾器必須已測過風量，在設計風速的80~120%之間運行。

4.4.2用塵埃粒子計數器采樣頭掃描過濾器的出風側。采樣頭離過濾器距離約2~3cm，以5~20mm/s的速度移動，對被檢過濾器整個斷面、封頭膠、和安裝框架處進行掃描。

4.4.3當周期為2min時，0.5μm粒子數≥20粒/L，表明泄漏量超標，需要修補或更換。

4.4.4用環氧樹脂膠堵漏或緊固螺栓后，再進行掃描巡檢。

4.5檢測頻度

4.5.1在安裝或更換高效過濾器時應進行檢測。

4.5.2正常使用情況下，每年至少檢測一次。

4.6被檢過濾器要填寫《高效過濾器檢漏測試記錄》。

5.0附件

《高效過濾器檢漏測試記錄》

6.0修改歷史