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現(xiàn)代新型空氣過(guò)濾器主要有哪些特點(diǎn)？

    隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，在潔凈室中除了要求控制微粒、微生物的濃度外，化學(xué)污染物或重金屬物質(zhì)對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量和人員健康的影響也日益受到關(guān)注。尤其是超大規(guī)模集成電路生產(chǎn)技術(shù)的飛躍發(fā)展，空氣中能夠危害產(chǎn)品生產(chǎn)質(zhì)量，引起產(chǎn)品成品率降低的化學(xué)污染物質(zhì)被稱(chēng)為“分子級(jí)污染物”（“AMC”是Airborne Molecular Contamination的縮寫(xiě)），國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備與材料協(xié)會(huì)( SEMI)在F21-95標(biāo)準(zhǔn)中將“分子級(jí)污染物”分為四類(lèi)，即酸性(MA)、堿性(MB)、可凝性(MC)、摻雜性(MD)，對(duì)每一類(lèi)分為5個(gè)濃度等級(jí)。

    新型空氣過(guò)濾器能過(guò)濾的化學(xué)物質(zhì)，空氣中的AMC的污染物包括多種有害氣體和金屬離子，屬于酸性AMC的化學(xué)腐蝕性氣相物質(zhì)有氟化氫(HF)、二氧化硫(SQ2)、傳遞窗規(guī)格，氯化氫(HCI)、氮氧化物(NO。)等；堿性AMC主要有氨氣(NH3)、甲胺(CH3NH2)等；可凝性AMC是指在常溫常壓下能在干凈表面凝結(jié)的氣相物質(zhì)，如有機(jī)氣體、碳?xì)浠衔锏龋粨诫s性AMC是指能夠改變半導(dǎo)體材料性能的化學(xué)物質(zhì)，如硼(B)、磷(P)、鉀(K)、鈉(Na)、鈣(Ca)和各種金屬離子等。

    為了控制潔凈室內(nèi)空氣中各類(lèi)化學(xué)污染物濃度，應(yīng)采用多種污染物控制技術(shù)措施，包括潔凈室建造材料污染物控制、人員污染物控制、原輔材料污染物控制、生產(chǎn)工藝方法污染控制、室外和室內(nèi)空氣污染物控制等。對(duì)潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)，應(yīng)根據(jù)要求裝設(shè)化學(xué)過(guò)濾器或在潔凈室內(nèi)設(shè)局部超凈設(shè)備或微環(huán)境隔離易受AMC污染危害的生產(chǎn)工藝或生產(chǎn)設(shè)備。目前國(guó)內(nèi)外都在研究開(kāi)發(fā)各種類(lèi)型的化學(xué)過(guò)濾器，國(guó)外傳遞窗柜已有化學(xué)過(guò)濾器系列產(chǎn)品出售，表4-46是日本一家公司生產(chǎn)的化學(xué)過(guò)濾器技術(shù)數(shù)據(jù)。

    我公司生產(chǎn)多種類(lèi)型的化學(xué)空氣過(guò)濾器m.0594184.com，如GENC型潔凈室用多V型化學(xué)過(guò)濾器，采用0.SJum微球活性炭，不破裂、不發(fā)塵，負(fù)載在聚氨酯三維多孔載體上，濾材標(biāo)準(zhǔn)厚度為(20±2) mrn;有三種濾料，即T20-A堿性氣體用，T20-C酸性氣體用，T20-L有機(jī)氣體用；一層濾料在面風(fēng)速為2.5m/s時(shí)的阻力為50Pao外框材料為不銹鋼。

   ENC適用于凈化空調(diào)系統(tǒng)新風(fēng)、循環(huán)風(fēng)處理。ENP型板式化學(xué)過(guò)濾器，濾料與“ENC”型相同，標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品裝有三層不同濾料，在面風(fēng)速為0.3m/s時(shí)，阻力為20Pa;外框材料為鋁合金，“ENP”外形。高效／化學(xué)復(fù)合過(guò)濾器，它是由HEPA/ULPA過(guò)濾器和化學(xué)過(guò)濾器組合制造，可同時(shí)去除空氣中的超細(xì)微粒和分子污染物；濾材可采用制作HEPA/ULPA的三種濾料和三種濾料，即通用性玻璃纖維、低硼石英玻璃纖維、—PTFE膨體聚四氟乙烯和T20-A、T20-C、T20一L，在面風(fēng)速為0.3m/s時(shí)，阻力約為130Pa;這種過(guò)濾器適合于高級(jí)別潔凈室中的微環(huán)境和在生產(chǎn)工藝設(shè)備中配用。